目前，MEMS传感器主要应用在汽车、医疗和消费电子三大领域。

<span class="highlight">MEMS技术</span>运用开始于上世纪70年代末期的欧美等国家，用于以蚀刻硅片结构制作压力传感器、电容式感应移动质量...