为了用MEMS实现上述原理的陀螺仪,Boser等人采用了直径1mm的硅环作为旋转物体。在硅环周围配置了容量电极,在静电驱动下,波会在环上环绕。这种MEMS构造和CMOS读取电路是采用与美国InvenSense的陀螺仪相同的工艺(取该公司创始人的姓、命名为“Nasiri Fabrication Process”),通过晶圆接合而集成在一起的。

最近,日本某公司和宇宙航空研究开发机构共同开发了用于国产火箭的高精度MEMS陀螺仪。该陀螺仪是用于监测火箭及卫星等航空、航天器航行位置的重要设备,新型MEMS陀螺仪精度比原有陀螺仪提高了一个数量级,达到了0.1°∕h。

传感器的市场越来越强,智能电脑,智能手机,智能汽车,到处都是智能化,加速计,实现了运动控制的使用者接口设计应用。

近年来,不只是电视游戏主机的体感控制器持续发烧,智能手机也必须搭载更多元的MEMS组件,来使产品整合更多元的应用价值,而自电视游戏机、手机、笔记本电脑,甚至是白家电,已有越来越多的消费电子产品开始使用低g加速计,实现了运动控制的使用者接口设计应用。

据统计,陀螺仪占据消费电子和移动应用中运动传感器41%的盈利,包括加速度计和电子罗盘,共计16亿美元。而2010年的全部运动传感器收益为11亿美元。