霍尔传感器

霍尔传感器是一种能实现磁电转换的传感器，用它们可以检测磁场及其变化。霍尔传感器具有许多优点，它们的结构牢固，体积小，寿命长，安装方便，功耗小，频率高，耐震动，不怕灰尘、油污及盐雾等的污染或腐蚀。霍尔开关器件具有无触点、输出波形清晰、无抖动、位置重复精度高等优点。

霍尔传感器以霍尔效应为其工作基础。霍尔效应是半导体自由电荷受磁场洛仑磁力作用而产生，它是由美国物理学家霍尔(Edwin H. Hall)在1879年发现的。霍尔开关电路又称霍尔数字电路，由稳压器、霍尔片、差分放大器，斯密特触发器和输出级组成。根据实现功能的不同，霍尔传感器可分为霍尔线性器件和霍尔开关器件，其中霍尔线性器件输出的是模拟量，霍尔开关器输出的是数字量，即脉冲信号。

1986年，Sugiyama等采用了GaAs/AlGaAs异质结构制作霍尔元件，其电流相关灵敏度达到1000V/A*T,但是灵敏度的稳定性差。而采用了超晶格结构的霍尔器件克服了这一缺陷。在之后的技术发展中，霍尔器件具有高灵敏度、低不等位电势和很高的温度稳定性，有些霍尔器件还具有很高的信噪比。

由于霍尔元件具有在静止状态下感受磁场的能力，且结构简单，形小体轻，频带宽(可从直流到微波)，动态特性好、动态范围大，寿命长和可进行非接触测量等优点，故在检测技术、自动控制技术和信息处理等方面得到日益广泛应用。霍尔传感器在未来发展中的趋势将是高灵敏度、高精度和高稳定度，它将在微电子技术发展的基础上更加飞速的发展。