力敏传感器

力敏传感器是用来检测气体、固体、液体等物质间相互作用力的传感器。常用材料有半导体、金属及合成材料。目前常用的主要是硅压阻式力敏传感器和电容式力敏传感器。硅压力传感器优点是，灵敏度好、精度高、缺点是受温度影响大，