MEMS型可调外腔激光器的研究

提出了一种以MEMS TOF(微电子机械系统可调光滤波器)和标准具作为波长选择元件，LC(液晶)作为相位补偿元件，平面反射镜提供光反馈的可调外腔半导体激光器结构。实际研制了该结构的激光器样品，实验测得该激光器的输出功率> 10 dBm，边模抑制比>50 dB，可调谐范围达到7 nm，线宽约为200 kHz。