ITO透明导电薄膜的制备综述

本文概述了透明导电薄膜的分类以及ITO薄膜的基本特性，综述了ITO薄膜主要的制备技术及其研究的进展，并指出了不同制备方法的优缺点。最后对ITO薄膜的发展趋势进行了展望。