ICP-AES检测工业硅中八种杂质元素

本文采用HF和HNO3 （6:2）微波消解工业硅样品，用ICP-AES法同时测定工业硅中的Cu、Mn、Fe、Ni、Ti、Al、P和B等八种杂质元素。该方法快速简便、准确率高、精密度好，对产品质量控制及检验杂质元素含量，具有可操作性和很好地应用价值。