微型光纤光谱仪工作范围拓展至深紫外

通过将背照式薄型检测器引入微型光纤光谱仪，并辅助以真空及稀有气体保护等手段，减少水、氧气和其他气体对真空紫外区的吸收，经济又便利的将光谱检测范围拓展至153nm。