平面光波导器件及应用分析

分析了平面光波导器件的关键技术及其应用情况．介绍了平面光波导器件的几种不同种类，包括硅基体沉积二氧化硅光波导，铌酸锂镀金属膜光波导，聚合物(Polymer)光波导等组成．利用平面光波导技术，可制造出波分复用器、解复用器、光开关、耦合器、阵列波导光栅等各种不同的集成光学器件．