弥补国内传感器产业生态链缺口

2017-11-03 10:20 院校科研   来源:科技日报

导读中国科协副主席、中国科学院院士王曦解释说,“超越摩尔”指的是不再只遵循摩尔定律,在半导体工艺尺寸上越做越小,而是在成熟的工艺生产线上,研发非数字、多元化半导体技术与产品。“超越摩尔”将不再局限于依靠尺寸改变去推进集成电路制程节点,更重视材料、工艺、结构等多维度的创新,从而实现传感器等其他新兴技术领域“换道超车”。  

在上海嘉定工业区,近5000平方米的高等级微纳加工超净厂房内,上海微技术工业研究院(以下简称“工研院”)与国际领先的晶圆厂密切合作构建的8英寸“超越摩尔”研发中试线上,正“跑”着数十片晶圆

由工研院建设的8英寸“超越摩尔”研发中试线正式启动,填补了我国微机电系统智能传感器领域缺乏小批量中间性试验生产线的空白。

8英寸研发中试线的启动,不仅实现了从研发到量产的无缝衔接,更丰富完整了国内的“超越摩尔”生态链,是对标国际产业竞争的关键一环。

中国科协副主席、中国科学院院士王曦解释说,“超越摩尔”指的是不再只遵循摩尔定律,在半导体工艺尺寸上越做越小,而是在成熟的工艺生产线上,研发非数字、多元化半导体技术与产品。“超越摩尔”将不再局限于依靠尺寸改变去推进集成电路制程节点,更重视材料、工艺、结构等多维度的创新,从而实现传感器等其他新兴技术领域“换道超车”。

传感器,位于整个物联网的基础层,是数据采集的入口,也是物联网的基石。然而代工厂不愿接,小批量中试无处可做,成为我国传感器等微机电系统研发机构的一大共性难题。8英寸研发中试线运营副总裁、厂长游家杰表示,当前我国约60%的传感器都是靠进口,缺口很大,尤其是微机电系统智能传感器,几乎全部依赖进口。

目前,在“超越摩尔”领域,相比于业界普遍使用的6英寸产线,贯通从研发到量产全程服务的上海微技术工业研究院8英寸线是公认的领先技术。据相关人士透露,整个生产线建造投入近10亿元,目前一期3000平方米已投入使用。

据悉,8英寸研发中试线将专注于“超越摩尔”传感器产品技术的开发,可以全面开展表面、体、3D微纳加工以及新工艺、新器件、新系统的研发,并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。作为国内第一条先进8英寸研发中试线,不仅可承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务,有助于提升研发的成功率,更将助力实现 “超越摩尔”产品和技术从研发到量产的无缝衔接。

游家杰介绍,新建成的研发中试线,目前规定产能是每月生产3000片左右晶圆,后期将达到5000片。“我们可以支撑用户从几百片到上千片的产能需求,小规模订单先在中试线上孵化,一旦前期市场测试成功,就可以把大批量订单转移给大型代工厂,开始规模量产。”

标签:  传感器[7]    物联网[2]    晶圆[3]
[整理编辑:中国测控网]
更多精彩文章请关注公众号“CK365测控界”

免责声明:凡注明来源中国测控网的所有作品,均为本网合法拥有版权或有权使用的作品,欢迎转载,请注明出处。非本网作品均来自互联网,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。

版权与免责声明:

①凡本网注明"来源:中国测控网"的所有作品,版权均属于中国测控网,转载请必须注明中国测控网 www.ck365.cn。违反者本网将追究相关法律责任。
②本网转载并注明自其它来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、网站或个人从本网下载使用,必须保留本网注明的"稿件来源",并自负版权等法律责任。
③如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
 

专题推荐

中国卫星导航学术年会

第八届中国卫星导航学术年会(China Satellite Navigation Conference, CSNC 2017

Labview专题

LabVIEW是一种程序开发环境,由美国国家仪器(NI)公司研制开发,类似于C和BASIC开

论坛热帖

技术文章

资讯排行

读了又读

38%的网友读了:
架起灯联网产业的五大核心技术

物联网是新一代信息技术的重要组成部分。近些年随着物联网行业的蓬勃发展,让我们对身边一切事物都有了

2018-06-22 14:55
47%的网友读了:
关西机场人流监控系统超过250个传感器

Xovis系统将3D传感器与软件解决方案结合在一起,对旅客进行匿名计数和跟踪。一张由Xovis3D传感器组成的

2018-06-22 14:53