将尺寸由3.4mm见方缩小到1.9mm见方的理由有二。一是在LSI的正上方形成压力传感器。原来的试制品虽然层积了LSI及压力传感器,但由于要优先确立核心技术,因此为了不在LSI的正上方层叠压力传感器,只好沿水平方向错位形成。另一点是此次削减了压力传感器部分留有的多余空间。留有空间的理由是为了配备压力传感器以外的传感器。
另外,日立此次还介绍了可通过改变隔膜(承受压力后弯曲的薄膜部)尺寸,改变检测压力灵敏度的技术。利用该技术,可使集成型压力传感器的设计及制造工艺实现标准化,还可将达到通用水平的集成型压力传感器应用于多种用途。