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压力传感器芯体的种类以及各自的优势

2014-07-28 10:03:22


压力传感器的芯体材料主要是稳定性方面的技术要求,除了材料性质以外,还有版图的设计,加工工艺和装配工艺等方面的要求。压力传感器芯体从材料上来讲,主要有:单晶硅的芯体、多晶硅的芯体、陶瓷的芯体、水晶的芯体、金属的芯体、聚酰亚胺的芯体等等。

压力传感器的单晶硅芯体,单晶硅膜的SOI结构,能够承载较高的工作温度,较好的工作灵敏度,微机械处理单晶硅,可以提高稳定性和再现性,消除滞后现象。

压力传感器的多晶硅的芯体在二氧化硅层上淀积多晶硅膜,既利用了硅优良的机械特性,又保证了压敏电阻与衬底间良好的绝缘性,大大提高了器件的温度特性。

压力传感器的陶瓷的芯体超过100万次压力循环,极低的温度漂移,优良的线性精度,300%的过载压力,线性精度和过载压力都有良好的性能体现。

压力传感器的水晶的芯体采用音叉型晶体单元,由此可以得到安定度高的振荡频率,从而实现了具有高精度及高分辨能力。

压力传感器采用聚酰亚胺的芯体,相对电阻变化与压力呈良好的线性关系,可以实现较高精度的压力测量。

随着传感器行业的技术革新和发展,相信会有更多的新材料新工艺的引进,到时压力传感器的性能将有极大的提高。

[整理编辑:CK365测控网]
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