激光跟踪仪是一台以激光为测距手段配以反射标靶的仪器，它同时配有绕两个轴转动的测角机构，形成一个完整球坐标测量系统。可以用它来测量静止目标，跟踪和测量移动目标或它们的组合。
FARO Laser Tracker X系列激光跟踪仪
FARO激光跟踪仪 X系列V2版本精度更高，拓展了应用的操作温度范围。
FARO 激光跟踪仪x系列V2版本是一个便携式的接触式测量系统，使用激光技术，满足大范围工业领域的应用，准确地测量大规模零件和机械。它具有70米的测量范围，精度高达0.001",结构坚固，完全适用于工厂环境。
此外,FARO激光跟踪仪 X 系列V2版本有许多独特的性能表现：
XtremeADM*超级绝对测量：经GPS校验的XtremeADM精度是老型号的两倍,为FARO先进的断点续接技术带来了更高的测量速度，使它成为精度最高，最通用最实用的ADM系统。
Instant-On快速热启动 : 激光器无须预热，X系列激光跟踪仪在几秒内即可预备测量。
拓展了操作温度范围：X系列V2版本能在 -15°C (5°F) 到 50°C (122°F)范围内工作，即使在最苛刻的工作现场也能符合温度要求。
影响激光跟踪仪精度的因素
由于激光跟踪仪是利用激光测距，所以测距精度很高，但角度编码器随着距离的加大带来的位置误差亦很大，所以跟踪仪本身主要是角度误差。
在激光跟踪仪的应用中靶标对测量精度的影响亦不可忽视，通常靶标外形为球形，内部为3个互相垂直的反射镜(CCR)。若三个反射镜的角点和外球的中心不重合或3个反射镜面相互不垂直都会引起误差，因此在同一次测量中推荐使用同一个反射镜，同时反射镜不要绕自身光轴转动。
激光本身受大气温度、压力、湿度及气流流动的影响，所以大气参数的补偿对此仪器的正常使用十分关键。
