二维激光衍射法在直径测量系统中的应用

一种利用菲涅尔衍射效应精确测量工件直径的方法。该测量系统由处于相互垂直位置的两组激光二极管和线阵CCD组成，利用工件激光衍射图样获取投影边界，以几何方法计算工件直径。本系统以数字信号处理器作为数据处理芯片，用大规模可编程逻辑拓展系统功能并控制CCD的时序。该测量系统具有结构简单，测量精度高，抗干扰性强等特点。