中国科学院光电技术研究所成功创新研发一种URE-2000/17型台式紫外光刻机，并投入批量生产。该产品采用200W直流高压汞灯（光能稳定性很高，汞灯寿命长）、双目双视场显微镜对准、球碗调平、单片机控制、触摸开关操作等。具有较高的技术性能，而又实现较合理的价格比。具有体积小、外形美观、性能可靠、操作方便、经济实用性强等特点。尤为适合高等院校和研究机构从事微电子技术、MEMS、声表器件、红外探测器、液晶等领域的科研、教学，以及生产企业用于小批量器件生产。
该产品实现的技术指标：
光刻分辨力：2um
对准显微镜倍率：50—375倍
对准精度：+/-0.8um
照明面积：100mm
照明均匀性：+/-5%
掩模尺寸：2.5吋、3吋、3吋、4吋、5吋
硅片尺寸：10mm—100mm(厚度0.1—10mm)
