在极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项(简称“集成电路专项”)以及其他国家相关产业政策的推动下，近年来我国半导体设备产业取得较快进步，部分...

2013年9月23日，国际材料<span class="highlight">工艺设备</span>、科仪及实验室设备展会(以下简称CIAMITE 2013)将在青岛拉开帷幕。...